洁净室四大技术要素

 

 从洁净室的建造、使用和维护而言,洁净室有四大技术要素:


A、洁净室的净化空调系统至少应有初、中、高、过滤器过滤措施。尤其是在终端应有高的效过滤器(HEPA)。


B、洁净室送风应有足够的空调(去除室内余热、余湿)和净化(保持洁净度)送风量。其送风量不仅能去除室内的余热和余湿,保证室内的温度和相对湿度,同时还能去除或稀释室内的粒子污染,保证室内的洁净度要求。


C、洁净室建立和维持必要的相对压差(正压或负压)。


D、洁净室应有合理的气流流型,以保证其室内的洁净度和温、湿度等参数。 


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